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Intel計劃是在Intel4工藝中使用EUV光刻機

來源:TechWeb 作者:如思 發布時間:2022-02-22 19:05   閱讀量:7333   

做為IDM 2.0戰略的一部分,Intel上周公布了野心勃勃的產品及技術工藝圖,其中先進工藝的升級換代非常激進,不到4年內就要升級5代工藝,而且從2025年開始的新一代工藝開始會首發新一代的EUV光刻機,價格超過19億一臺。

Intel計劃是在Intel4工藝中使用EUV光刻機

Intel之所以這么激進,是因為在搶先使用EUV工藝上吃過虧,他們原本計劃在10nm節點就上EUV工藝的,但是EUV光刻機當時還不成熟,隨后被臺積電,三星搶先了,陰差陽錯之下工藝落后了。它聲稱其總體性能與英特爾哈斯威爾第四代內核相當,并支持AVX-512指令集,該指令集由256位SIMD單元執行兩次。

Intel現在的計劃是在Intel 4工藝中使用EUV光刻機,計劃今年下半年投產,首發產品是2023年的14代酷睿Meteor Lake處理器。

現在的EUV光刻機還是NA 0.33技術的,Intel的重點押注在了下一代EUV光刻機,也就是NA 0.55的ASML新一代光刻機,據說成本高達3億美元,約合19億元。

實際上4年來Intel實際上已經下單了6臺NA 0.55的EUV光刻機,其中分為兩種,Twinscan Exe:5000系列主要用于工藝研發,產能輸出是185WPH,每小時生產185片晶圓,2023年上半年交付。。

量產型的NA 0.55光刻機是Twinscan Exe:5200,產能提升到200WPH,每小時200片晶圓,預計會在2024年下線,Intel的20A工藝正好是在2024年量產。

不過Intel這次搶先下單不怕下代EUV光刻機延期嗎對于這個問題,主管Intel工藝技術的高管Ann Kelleher日前在采訪中也談到了這個可能性,但她表示就算延期了也不會讓公司破產,而是有個B計劃

至于Intel的B計劃怎么解決新一代EUV光刻機跳票問題的,這就沒有明確信息了。Centaur的最新成果是2019年底宣布的CNSx86核心,定位服務器領域。

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