南方財經全媒體記者程浩實習生羅喆東莞報道

7月13日，2023年“創客廣東”東莞市中小企業創新創業大賽決賽在松山湖光大We谷產業園舉行，18個創新創業項目在決賽中進行激烈比拼，16個項目脫穎而出，成功晉級“創客廣東”大賽省賽復賽。其中，企業組的超技工業股份有限公司、創客組的松山湖第三代半導體團隊分別斬獲大賽一等獎。

“創客廣東”大賽是廣東省工業和信息化廳、廣東省財政廳共同著力打造的“雙創”品牌活動，而東莞賽區一直以來都是“創客廣東”的重要組成部分，源源不斷地為省賽輸送優質參賽項目。

本屆“創客廣東”東莞市中小企業創新創業大賽由東莞市工業與信息化局主辦，東莞市專精特新企業聯合會承辦，圍繞建設制造強市、網絡強市和數字經濟強市建設，通過雙創賽事，挖掘、培育和落地一批創新創業項目，為所有有志于展示自我、發揮自我、實現自我的企業及創客搭建一個成就創新創業夢想的平臺。

7月13日，2023年“創客廣東”東莞市中小企業創新創業大賽決賽圓滿收官。程浩 攝

活動當天，18個創新創業項目在決賽中進行對決，經過現場專家評委的嚴格評選，共有16個項目在決賽獲獎，涵蓋新一代信息技術、智能家電、機器人、新材料、半導體與集成電路、智能制造、生物醫藥與健康、新能源等8個領域，成功晉級“創客廣東”大賽省賽復賽。

本次比賽中，來自超技工業股份有限公司路演項目“半導體/IC載板行業先進裝備制造商”和來自松山湖第三代半導體團隊路演項目“大尺寸氮化鋁單晶復合襯底”在參賽項目中脫穎而出，分別獲得企業組和創客組一等獎。電池材料濕法研磨系統解決方案及產業化(東莞市瑯菱機械有限公司)等5個團隊斬獲二等獎；AI智能交互家庭看護機(元生團隊)等9個團隊斬獲三等獎。

獲得創客組一等獎的是來自松山湖第三代半導體團隊的“大尺寸氮化鋁單晶復合襯底”項目，該項目通過在物理氣相沉積與高溫退火兩階段進行工藝摸索與材料物理分析，根據測試結果迭代工藝，最終獲得晶圓級大尺寸高結晶質量的氮化鋁單晶復合襯底，在應用角度具有良率及工藝穩定性高、性能優異，與目前氮化物類器件外延工藝上下游兼容等特點，為大規模產業化生產創造了可能性。

獲得企業組一等獎的是超技工業股份有限公司研發的IC載板自動物料搬送系統(AMHS)項目，該系統由線邊倉、提升機、走天輸送機、中樞模塊等部分組成，其中線邊倉、提升機、走天輸送機分別與IC載板生產的多個工序對接，中樞模塊負責線邊倉、提升機、走天輸送機的智能化控制和統一調度。

超技工業股份有限公司工作人員介紹，在上述結構的配合下，AMHS能夠實現IC載板生產工廠中物料的全自動搬送，提升產品在運輸過程中的效率，減少產品報廢，提升良品率，從而有效提升生產效益。目前該產品獲得了不錯的市場反響。

南方財經全媒體記者觀察到，此次晉級“創客廣東”大賽省賽復賽的16個優秀項目，既有來自專精特新“小巨人”企業、高新技術企業、科技型中小企業等帶來的創新技術項目，也有來自各大領域學界人才帶來的嶄新研發成果。

東莞市工業和信息化局四級調研員黎玲東表示，希望借助本次大賽，能夠發掘和培育一批優秀的“雙創”項目和團隊，同時為優質項目打造交流平臺，為推動東莞制造業高質量發展、打造“科技創新+先進制造”城市名片做出更大貢獻。

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