最近幾天，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)網(wǎng)站發(fā)布，中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)在6G濾鏡領(lǐng)域取得重要進展研究成果是微電子所左教授研究團隊在鈮酸鋰壓電薄膜上設(shè)計并實現(xiàn)了Q值超過10萬的高頻 MEMS諧振器與文獻中已有的工作相比，Q值提高了兩個數(shù)量級

根據(jù)消息顯示，相關(guān)成果于5月16日以《15度三維歐拉角下的超高鈮酸鋰諧振器》為題在線發(fā)表在電子器件領(lǐng)域知名期刊《IEEE電子器件快報》上。

研究人員提出了一種基于三維歐拉角α在x切單晶鈮酸鋰壓電薄膜上設(shè)計制作高頻MEMS諧振器的方法通過設(shè)計諧振器的電極結(jié)構(gòu)，激發(fā)出工作在6.5 GHz的S1振動模式，當聲波傳播方向為15°時，諧振器在并聯(lián)諧振頻率處的品質(zhì)因數(shù)高達131540，對應(yīng)的諧振器品質(zhì)因數(shù)k2qp和fpqp分別為6300和8.6×1014Hz

1.新型MEMS諧振器的結(jié)構(gòu)設(shè)計和性能測試:三維歐拉角的定義:制備的諧振器的SEM照片，15諧振器導(dǎo)納曲線的測試結(jié)果

如圖2所示，與近10年來工作在相似頻段的其他諧振器相比，新型MEMS諧振器的Q值提高了兩個數(shù)量級，首次突破了諧振頻率與Q值乘積難以同步提高的問題更重要的是，相關(guān)工作成功找到了利用三維歐拉角控制鈮酸鋰薄膜介電損耗和聲損耗的新機制，為微納器件在高頻無線通信，醫(yī)學(xué)超聲成像，智能信息處理，物聯(lián)網(wǎng)傳感器等未來應(yīng)用開辟了更多可能性

圖二近10年來新型MEMS諧振器與其他鈮酸鋰諧振器的Q值比較

鄭重聲明：此文內(nèi)容為本網(wǎng)站轉(zhuǎn)載企業(yè)宣傳資訊，目的在于傳播更多信息，與本站立場無關(guān)。僅供讀者參考，并請自行核實相關(guān)內(nèi)容。